Bước 1: Cơ quan chủ quản chủ trì thẩm định; có văn bản gửi lấy ý kiến Bộ Kế hoạch và Đầu tư, Bộ Tài chính, các cơ quan có liên quan kèm theo Văn kiện dự án, phi dự án và các tài liệu liên quan khác (nếu có); (Trường hợp dự án, phi dự án có quy mô vốn ODA không hoàn lại từ 200.000 đô la Mỹ trở xuống, người đứng đầu cơ quan chủ quản phê duyệt Văn kiện dự án, phi dự án và không bắt buộc phải lấy ý kiến của các cơ quan liên quan).

Bước 2: Trong thời hạn 10 ngày kể từ ngày nhận được hồ sơ hợp lệ, các cơ quan được lấy ý kiến có văn bản góp ý về những nội dung của Văn kiện dự án, phi dự án và những vấn đề cần thiết có liên quan, trong đó lưu ý các nội dung: sự cần thiết và các mục tiêu, kết quả chủ yếu; nguồn vốn và khả năng cân đối vốn, cơ chế tài chính; điều kiện của nhà tài trợ nước ngoài (nếu có) và khả năng đáp ứng của phía Việt Nam.

Bước 3: Cơ quan chủ quản chủ trì thẩm định dự án, phi dự án với các nội dung gồm: sự phù hợp của dự án, phi dự án với mục tiêu phát triển cụ thể của bộ, ngành, địa phương, đơn vị thực hiện và thụ hưởng; sự phù hợp của phương thức tổ chức thực hiện; vốn và khả năng cân đối vốn, cơ chế tài chính; tính hợp lý trong cơ cấu ngân sách dành cho các hạng mục chủ yếu; cam kết, điều kiện tiên quyết và các điều kiện khác của nhà tài trợ nước ngoài và các bên tham gia (nếu có); hiệu quả, khả năng vận dụng kết quả vào thực tiễn và tính bền vững sau khi kết thúc; những ý kiến đã được thống nhất hoặc còn khác nhau giữa các bên.

Bước 6: Bộ Kế hoạch và Đầu tư thông báo chính thức cho nhà tài trợ nước ngoài và đề nghị xem xét tài trợ.

Bước 4: Căn cứ kết quả thẩm định, người đứng đầu cơ quan chủ quản quyết định phê duyệt Văn kiện dự án, phi dự án. Nội dung chính của Quyết định phê duyệt Văn kiện dự án hỗ trợ kỹ thuật, phi dự án gồm (i) Tên dự án, phi dự án; (ii) Tên nhà tài trợ, đồng tài trợ nước ngoài (nếu có); (iii) Tên cơ quan chủ quản, chủ dự án; (iv) Thời gian, địa điểm thực hiện; (v) Mục tiêu, hoạt động và kết quả; (vi) Tổ chức quản lý; (vii) Phương thức thực hiện; (viii) Tổng mức vốn và cơ cấu nguồn vốn gồm: Vốn ODA không hoàn lại (nguyên tệ và quy đổi ra đồng Việt Nam) và vốn đối ứng (đồng Việt Nam); (ix) Các nội dung khác.

Bước 5. Sau khi Văn kiện dự án, phi dự án được phê duyệt, cơ quan chủ quản thông báo cho Bộ Kế hoạch và Đầu tư, Bộ Tài chính và các cơ quan có liên quan kèm theo Văn kiện dự án, phi dự án đã được phê duyệt có đóng dấu giáp lai của cơ quan chủ quản và các tài liệu liên quan để giám sát và phối hợp thực hiện.